今天给各位分享钛合金溅射工艺的知识，其中也会对钛合金溅射工艺流程进行解释，如果能碰巧解决你现在面临的问题，别忘了关注本站，现在开始吧！
本文目录一览：
- 1、离子是如何实现氮化的
- 2、离子泵的溅射抽气机理
离子是如何实现氮化的
1、相比之下，真空氮化则更为多样，包括气体氮化和离子氮化两种常见方式。气体氮化同样是将工件置于真空环境中，但其氮化气体不同，如氨气、氮气等，能够更有效地渗氮，提高工件的硬度和耐磨性。离子氮化则是利用电离的氮气离子对工件进行处理，这种处理方式能够在更低的温度下实现渗氮，从而减少工件变形的风险。
2、至于离子氮化处理，它是一种通过离子沉积技术实现氮化处理的方法。这种方法能够使工件表面形成一层致密、均匀的氮化层，并且具有较高的硬度和耐磨性。不过，离子氮化处理的工艺相对复杂，且设备成本较高。综合考虑，选择哪种氮化方式，还需要根据具体的应用场景和材料特性来决定。
3、我会持续分享离子氮化案例。离子氮化是模具行业常用的表面处理技术，适用于冷作模具钢、热作模具钢和塑料模具钢。它能有效提升模具的耐热、耐磨和耐蚀性能。常见的离子氮化模具材料包括Cr12MoV、Cr1SKD1SKD12344等。离子氮化后，模具钢的硬度通常可达900HV以上，渗层厚度一般为0.02-0.2mm。
4、在等离子区强电场作用下，氮和氢的正离子以高速向工件表面轰击。离子的高动能转变为热能，加热工件表面至所需温度。由于离子的轰击，工件表面产生原子溅射，因而得到净化，同时由于吸附和扩散作用，氮遂渗入工件表面。离子渗氮法(或辉光放电氮化）是由德国人B.Berghaus于1932年发明的。
离子泵的溅射抽气机理
1、旋片机械泵的工作过程包括吸气、压缩和排气。吸附泵通过吸附或捕集气体分子进行工作。扩散泵和涡轮分子泵则分别通过扩散和分子动力学原理进行工作。溅射离子泵则通过电离气体分子并捕获离子来抽气。低温泵在极低温度下工作，实现高真空。真空计分为绝对真空计和相对真空计。
2、本文探讨了离子泵的抽速概念，主要分为不饱和抽速、饱和抽速及名义抽速三种。离子泵性能核心参数是抽速，以单位时间内可抽走的气体体积表示，通常用 L/s 为单位。抽速体现的是离子泵将气体从内部抽走的能力。
3、不饱和抽速：定义：新泵或刚经过烘烤再生的泵，在内部元件尤其是阴极表面非常洁净，表面放气率低的情况下的抽速。特点：此时的离子泵抽速较高，因为内部没有过多的残留气体干扰抽气过程。
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